当社の超高純度製品は、不純物濃度を「百万分の1」(ppm)レベル、さらには「十億分の1」(ppb)レベルにまで抑えています。そのためには、総合的な分析能力を社内に備えておかなければなりません。それらの分析法については、各種規格や第三者機関による試験結果と定期的に照合し、確認しています。
一般に使用する分析法を以下に示します。
– 粗鉱の化学分析:
従来型の湿式分析、原子吸光分析(AAS)、誘導結合プラズマ分光分析(ICP)
– 痕跡定量:
グロー放電質量分析VG 9000(GDMS)、クリーンルーム環境における湿式痕跡分析
– 光学的方法:
赤外分光分析、レーザー分光分析
– 電気的方法:
抵抗率、導電型、その他の電気的特性評価