Unsere ultrareinen Produkte mit Verunreinigungen im ppm-Bereich („parts per million“) oder ppb-Bereich („parts per billion“) erfordern umfassende analytische Fähigkeiten. Diese Methoden werden regelmäßig anhand von Standards und Messergebnissen durch Dritte überprüft.
Im Allgemeinen werden folgende Methoden angewandt:
– Einfache chemische Analysen:
Klassische nasschemische Analyse, Atom-Absorptions-Spektralanalyse (AAS), induktiv gekoppelte Plasmaspektrometrie (ICP).
– Spurenanalytik:
Glimmentladungsmassenspektrometrie VG 9000 (GDMS), nasschemische Spurenanalyse in Reinraumumgebung
– Optische Methoden:
Infrarot-Spektroskopie, Laserspektroskopie
– Elektrische Methoden:
spezifischer Widerstand, Leitfähigkeitstyp, Untersuchung anderer elektrischer Eigenschaften.